Сжатый сухой воздух (CDA) служит основным источником энергии, используемым при изготовлении пластин, фотолитографии и травлении, упаковке и тестировании, а также обработке печатных плат во всей электронной и полупроводниковой промышленной цепочке. Как основное оборудование для подачи воздуха, воздушные компрессоры напрямую влияют на выход годных микросхем и стабильность производственных линий. Отраслевые требования предусматривают использование безмасляных компрессоров, соответствующих стандарту ISO 8573-1 Class 0.

При подготовке пластин безмасляные компрессоры подают сверхчистый воздушный поток для удаления субмикронной пыли после резки кремниевых слитков и полировки пластин. Даже следовые количества масляного тумана могут образовать изолирующую пленку на кремниевых пластинах и вызвать последующие отказы схем, поэтому общее содержание масла в подаваемом воздухе должно поддерживаться ниже 0,01 мг/м³. Фотолитография, травление и осаждение тонких пленок являются ключевыми производственными процессами. Воздушные компрессоры приводят в действие прецизионные цилиндры и пневматические клапаны камер литографических установок. Стабильное давление воздуха обеспечивает позиционирование ступеней для пластин с нанометровой точностью, при этом колебания давления ограничиваются в пределах ±0,05 бар для предотвращения смещения рисунков схем. Одновременно сжатый воздух с низкой точкой росы (≤ -40℃) защищает оптические линзы и предотвращает ослабление лазерной энергии, вызванное конденсацией влаги.

В цехах упаковки и тестирования воздушные компрессоры обеспечивают работу установок для крепления кристаллов, установок для проволочного соединения и автоматического сортировочного оборудования. Высокочистый воздух удаляет загрязнения с контактных площадок соединения, предотвращая холодные паяные соединения и короткие замыкания. Во время испытаний микросхем на приработку равномерный чистый воздушный поток гарантирует точность данных электрических испытаний. При обработке печатных плат и SMT сжатый воздух поддерживает работу установок поверхностного монтажа, очистку печатных плат и продувку печей оплавления; безмасляный воздух предотвращает окисление и загрязнение электронных компонентов.

Производственные линии полупроводников работают круглосуточно 24/7. Безмасляные винтовые и центробежные воздушные компрессоры обеспечивают стабилизированную подачу воздуха с низкой вибрацией и переменной частотой. Оснащенные многоступенчатыми прецизионными фильтрами и установками глубокой осушки, они контролируют три основных вида загрязнений: масло, воду и твердые частицы. В отличие от обычных промышленных воздушных компрессоров, специальные модели для полупроводниковой промышленности исключают загрязнение смазочными материалами на источнике и значительно снижают риск брака пластин. Как незаменимое прецизионное вспомогательное оборудование для передовых производственных площадок, они создают надежную основу подачи воздуха для стабильного массового производства микросхем и повышения качества.